Digitale und anloge Drucksensoren und Barographen
Die Konstruktion des Sensors macht sich die ausgezeichneten Eigenschaften des monokristalinen Siliziums zunutze und erreicht dadurch eine besonders gute Reproduzierbarkeit, geringe Hysterese und eine ausgezeichnete Langzeitstabilität. Der Temperatureinfluss ist äußerst gering und hoher Überdruck sowie mechanische Schockeinwirkungen beeinflussen die Leistungsfähigkeit des Drucksensors nicht. Der Drucksensor ist aus zwei Silizium gefertigten Teilen aufgebaut, wobei das eine als druckempfindliche Membrane fungiert und das andere als stabile Trägersubstanz. Die beiden Siliziumteile sind durch eine Glasschicht isoliert, die ebenfalls die integrierte Vakuum-Referenzkammer innerhalb des Sensors abdichtet. Druckänderungen verformen die empfindliche Membrane, so dass der aus Siliziumteilen gebildete Kondensator seine Kapazität verändert.